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2001年6月 成立国泰半导体材料有限公司。
2014年11月 国泰半导体材料有限公司由中外合资企业变更为内资企业，北京有色金属研究总院为单一股东。
2014年12月 原有研硅股将硅板块全部资产出售给北京有色金属研究总院。北京有色金属研究总院将硅板块全部资产注入国泰半导体材料有限公司。
2015年1月 国泰半导体材料有限公司更名为有研半导体材料有限公司。
2017年11月 有研科技集团有限公司与日本株式会社RS Technologies、福建仓元投资有限公司签署合资合同，以持有的有研半导体100%股权出资，成立合资公司北京有研艾斯半导体科技有限公司。
2018年1月 北京有研艾斯半导体科技有限公司完成工商登记，有研半导体成为北京有研艾斯半导体科技有限公司的全资子公司，完成了混合所有制改革，由国有独资公司变更为混合所有制公司。
2018年8月 成立控股子公司山东有研半导体材料有限公司。
2020年3月 成立控股子公司有研艾唯特（北京）科技有限公司，拓展高洁净阀门产品中国市场。
2021年5月 整体变更为股份有限公司
2021年6月 引进战略投资者中信证券投资有限公司、中电科研投基金、深圳诺河投资合伙企业（有限合伙）
2021年6月 公司参股山东有研艾斯半导体材料有限公司