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2001年6月 成立国泰半导体材料有限公司。
2015年1月 公司完成新资产注入，并更名为有研半导体材料有限公司，北京有色金属研究总院为单一股东。
2018年1月 公司完成混合所有制改革。
2018年8月 成立控股子公司山东有研半导体材料有限公司。
2020年3月 成立控股子公司北京艾唯特科技有限公司，拓展高洁净阀门产品中国市场。
2020年3月 参股子公司山东有研艾斯半导体材料有限公司成立，开展12英寸硅片的研发、生产和销售。
2021年5月 公司完成股份制改革。
2022年11月 公司完成发行上市，登陆上交所科创板。
2023年10月 艾唯特（德州）阀门科技有限公司成立。