产品描述

采用DSS法生长的大尺寸高纯度多晶硅系列产品，是集成电路刻蚀工艺中使用的关键材料；提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的多晶硅锭产品

产品用途

集成电路刻蚀用关键材料

技术参数