製品説明

DSS法で成長した大型高純度多結晶シリコンシリーズ製品は、集積回路エッチングプロセスに使用されるコア材料である。

顧客の要求を満たす異なるサイズ、抵抗率のシリコンスライス/環状スライス形態の多結晶シリコン製品を提供する。

製品用途

集積回路エッチング用コア材料

技術的パラメータ