製品説明

DSS法で成長した大型高純度多結晶シリコンシリーズ製品は、集積回路エッチングプロセスに使用されるコア材料である。

顧客の要求を満たす異なるサイズ、抵抗率の多結晶シリコンインゴット製品を提供する。

製品用途

集積回路エッチング用のコア材料。

技術的パラメータ