大口径単結晶と製品

CZ / MCZ法で引き上げた大型で高純度のシリコン単結晶シリーズの製品群は、集積回路のエッチングプロセスで使用される主要な材料であり。

FZ単結晶

FZ法で製造した高純度単結晶。

CZ低抵抗率ウェーハ

CZ法で高純度の単結晶棒を引上げて、お客様のご要望に応じてさまざまなタイプのウェーハに加工して使用されます。

多結晶製品

DSS法で成長した大型高純度多結晶シリコンシリーズ製品は、集積回路エッチングプロセスに使用されるコア材料である。